體積表面電阻率測(cè)試儀（高阻計(jì)）——儀器結(jié)構(gòu)與操作注意事項(xiàng)

體積表面電阻率測(cè)試儀（高阻計(jì)）儀器結(jié)構(gòu)組成

高阻計(jì)由核心測(cè)量模塊、電極系統(tǒng)、防護(hù)單元三部分構(gòu)成。核心模塊包含高壓源（100V-1000V可調(diào)）、微電流放大器（分辨率達(dá)10^-15A）及數(shù)字化處理單元，采用四線(xiàn)制測(cè)量法消除引線(xiàn)誤差，電極系統(tǒng)分為三電極體系（主電極、保護(hù)電極、對(duì)電極）和兩電極體系，前者適用于體積電阻率測(cè)試，后者用于表面電阻率測(cè)量。防護(hù)單元包含雙層電磁屏蔽箱體、獨(dú)立接地裝置及濕度監(jiān)控模塊，可將環(huán)境干擾降至0.1pA以下。

 體積表面電阻率測(cè)試儀（高阻計(jì)）操作注意事項(xiàng)

 1. 環(huán)境控制：維持溫度23±2℃、濕度<60%RH，避免氣流擾動(dòng)。每日開(kāi)機(jī)需預(yù)熱30分鐘使元件熱穩(wěn)定。

 2. 校準(zhǔn)程序：使用標(biāo)準(zhǔn)電阻箱（10^6-10^14Ω范圍）進(jìn)行量程校準(zhǔn)，每個(gè)量程需執(zhí)行零點(diǎn)校正和滿(mǎn)度校正。

 3. 樣品處理：待測(cè)物表面需用異丙醇清潔，接觸面平整度誤差小于等于0.02mm。多層材料應(yīng)分層測(cè)試并記錄層間接觸電阻。

 4. 測(cè)試規(guī)范：施加電壓時(shí)按10s階梯式升壓，每次測(cè)試后放電時(shí)間≥5倍測(cè)試時(shí)長(zhǎng)。接觸壓力控制在0.5-1.0N/cm2范圍。

 5. 維護(hù)要求：每月檢查電極氧化情況，500小時(shí)使用后更換防震硅膠墊。長(zhǎng)期停用時(shí)應(yīng)保持屏蔽箱內(nèi)相對(duì)濕度40%±5%。

 依據(jù)IEC 62631-3-1標(biāo)準(zhǔn)制定，通過(guò)嚴(yán)格控制接觸電阻（≤1Ω）和漏電流（<10^-12A），可將測(cè)量不確定度控制在±5%以?xún)?nèi)。操作人員須佩戴防靜電腕帶，避免直接接觸測(cè)量端子金屬部分。